सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग वेफर कॅरियरसह ग्रेफाइट ससेप्टर

CVD-SiC कोटिंगमध्ये एकसमान रचना, कॉम्पॅक्ट सामग्री, उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, उच्च शुद्धता, आम्ल आणि अल्कली प्रतिरोध आणि सेंद्रिय अभिकर्मक, स्थिर भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांसह वैशिष्ट्ये आहेत.
उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सामग्रीच्या तुलनेत, ग्रेफाइट 400C वर ऑक्सिडायझेशन सुरू करते, ज्यामुळे ऑक्सिडेशनमुळे पावडरचे नुकसान होते, परिणामी परिधीय उपकरणे आणि व्हॅक्यूम चेंबर्समध्ये पर्यावरणीय प्रदूषण होते आणि उच्च-शुद्धतेच्या वातावरणातील अशुद्धता वाढते.
तथापि, SiC कोटिंग 1600 अंशांवर भौतिक आणि रासायनिक स्थिरता राखू शकते, हे आधुनिक उद्योगात, विशेषत: सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.