टँटलम कार्बाइड लेपित ससेप्टर सपोर्ट प्लेटच्या पातळ थराने झाकलेली ससेप्टर किंवा सपोर्ट स्ट्रक्चर आहेटँटलम कार्बाइड. हे कोटिंग ससेप्टरच्या पृष्ठभागावर फिजिकल वाफ डिपॉझिशन (PVD) किंवा केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) यांसारख्या तंत्रांद्वारे तयार केले जाऊ शकते, ज्यामुळे संसेप्टरला उत्कृष्ट गुणधर्म प्राप्त होतात.टँटलम कार्बाइड.
सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.
अनेक वर्षांच्या विकासानंतर, सेमिसेराने तंत्रज्ञानावर विजय मिळवला आहेCVD TaCसंशोधन आणि विकास विभागाच्या संयुक्त प्रयत्नांनी. SiC वेफर्सच्या वाढीच्या प्रक्रियेत दोष येणे सोपे आहे, परंतु वापरल्यानंतरTaC, फरक लक्षणीय आहे. खाली TaC सह आणि शिवाय वेफर्सची तुलना तसेच सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी Simicera' भागांची तुलना केली आहे.
टँटलम कार्बाइड लेपित बेस सपोर्ट प्लेट्सच्या मुख्य वैशिष्ट्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
1. उच्च तापमान स्थिरता: टँटलम कार्बाइडमध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता आहे, ज्यामुळे कोटेड बेस सपोर्ट प्लेट उच्च तापमानाच्या कामकाजाच्या वातावरणात समर्थनाच्या गरजांसाठी योग्य बनते.
2. गंज प्रतिकार: टँटलम कार्बाइड कोटिंगमध्ये चांगली गंज प्रतिरोधक क्षमता आहे, रासायनिक गंज आणि ऑक्सिडेशनला प्रतिकार करू शकते आणि बेसचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते.
3. उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध: टँटलम कार्बाइड कोटिंगची उच्च कडकपणा बेस सपोर्ट प्लेटला चांगला पोशाख प्रतिरोध देते, जे उच्च पोशाख प्रतिरोध आवश्यक असलेल्या प्रसंगांसाठी योग्य आहे.
4. रासायनिक स्थिरता: टँटलम कार्बाइडमध्ये विविध रासायनिक पदार्थांची उच्च स्थिरता असते, ज्यामुळे कोटेड बेस सपोर्ट प्लेट काही संक्षारक वातावरणात चांगली कामगिरी करते.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा आयुष्य आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
