टँटलम कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट शीटची पातळ थर असलेली ग्रेफाइट सामग्री आहेटँटलम कार्बाइडसब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर. टँटलम कार्बाइडचा पातळ थर सामान्यतः ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर भौतिक वाष्प संचय (PVD) किंवा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) यांसारख्या तंत्रांद्वारे तयार होतो. या कोटिंगमध्ये उच्च कडकपणा, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान स्थिरता यासारखे उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत.
सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.
अनेक वर्षांच्या विकासानंतर, सेमिसेराने तंत्रज्ञानावर विजय मिळवला आहेCVD TaCसंशोधन आणि विकास विभागाच्या संयुक्त प्रयत्नांनी. SiC वेफर्सच्या वाढीच्या प्रक्रियेत दोष येणे सोपे आहे, परंतु वापरल्यानंतरTaC, फरक लक्षणीय आहे. खाली TaC सह आणि शिवाय वेफर्सची तुलना तसेच सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी Simicera' भागांची तुलना केली आहे.
टँटलम कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट शीटच्या मुख्य फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
1. उच्च तापमान प्रतिरोध: टँटलम कार्बाइडमध्ये उच्च वितळण्याचा बिंदू आणि उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता आहे, ज्यामुळे लेपित ग्रेफाइट शीट उच्च तापमान वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनते.
2. गंज प्रतिकार: टँटलम कार्बाइड कोटिंग अनेक रासायनिक संक्षारक पदार्थांच्या धूपला प्रतिकार करू शकते आणि सामग्रीचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते.
3. उच्च कडकपणा: टँटलम कार्बाइड पातळ थराची उच्च कडकपणा चांगली पोशाख प्रतिरोध प्रदान करते आणि उच्च पोशाख प्रतिरोध आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहे.
4. रासायनिक स्थिरता: टँटलम कार्बाइड लेप रासायनिक गंज करण्यासाठी उत्कृष्ट स्थिरता आहे आणि काही संक्षारक माध्यमांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य आहे.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा आयुष्य आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
