सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.
टँटलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहक सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वेफर प्रक्रिया आणि हाताळणी प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात. उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सची सुरक्षितता, अचूकता आणि सातत्य सुनिश्चित करण्यासाठी ते स्थिर समर्थन आणि संरक्षण प्रदान करतात. टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज वाहकाचे सेवा आयुष्य वाढवू शकतात, खर्च कमी करू शकतात आणि सेमीकंडक्टर उत्पादनांची गुणवत्ता आणि विश्वासार्हता सुधारू शकतात.
टँटॅलम कार्बाइड लेपित वेफर कॅरिअरचे वर्णन खालीलप्रमाणे आहे:
1. सामग्रीची निवड: टँटलम कार्बाइड ही उत्कृष्ट कार्यक्षमता, उच्च कडकपणा, उच्च वितळण्याचे बिंदू, गंज प्रतिरोधक आणि उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म असलेली सामग्री आहे, म्हणून ते अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.
2. पृष्ठभाग कोटिंग: एकसमान आणि दाट टँटलम कार्बाईड कोटिंग तयार करण्यासाठी विशेष कोटिंग प्रक्रियेद्वारे टँटलम कार्बाइड लेप वेफर कॅरिअरच्या पृष्ठभागावर लावले जाते. ही कोटिंग चांगली थर्मल चालकता असताना अतिरिक्त संरक्षण आणि पोशाख प्रतिरोध प्रदान करू शकते.
3. सपाटपणा आणि अचूकता: टँटलम कार्बाइड लेपित वेफर कॅरियरमध्ये उच्च प्रमाणात सपाटपणा आणि अचूकता असते, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सची स्थिरता आणि अचूकता सुनिश्चित होते. वेफरची गुणवत्ता आणि कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करण्यासाठी वाहक पृष्ठभागाचा सपाटपणा आणि समाप्ती महत्त्वपूर्ण आहे.
4. तापमान स्थिरता: टँटलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहक उच्च तापमानाच्या वातावरणात विकृत किंवा सैल न होता स्थिरता राखू शकतात, उच्च तापमान प्रक्रियेत वेफर्सची स्थिरता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करतात.
5. गंज प्रतिकार: टँटलम कार्बाइड कोटिंग्जमध्ये उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ते रसायने आणि सॉल्व्हेंट्सच्या क्षरणास प्रतिकार करू शकतात आणि वाहकांना द्रव आणि वायूच्या गंजपासून संरक्षण करू शकतात.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा जीवन आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
