TaC कोटेड प्लेट ही उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट सामग्रीपासून अचूकपणे तयार केलेली SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेली एक विशेष डिस्क आहे. त्याच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइड (TaC) सह काळजीपूर्वक लेपित केलेले आहे, एक संयुग त्याच्या अपवादात्मक शुद्धता आणि सामर्थ्यासाठी ओळखले जाते. TaC कोटिंग प्लेटची टिकाऊपणा आणि उच्च तापमानाचा प्रतिकार वाढवते, ज्यामुळे ते SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रियेच्या मागणीसाठी आदर्श बनते.
ही नाविन्यपूर्ण TaC कोटेड प्लेट उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट सामग्रीपासून अचूकपणे तयार केलेली SiC एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेली एक विशेष डिस्क आहे. TaC कोटेड प्लेट पृष्ठभाग टँटलम कार्बाइड (TaC) सह काळजीपूर्वक लेपित आहे, एक संयुग त्याच्या अपवादात्मक शुद्धता आणि सामर्थ्यासाठी ओळखले जाते. SiC epitaxial वाढीच्या विविध टप्प्यांमध्ये वेफर्स वाहून नेण्यासाठी एक विश्वसनीय व्यासपीठ म्हणून काम करते. त्याचा उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट बेस स्थिर आणि जड पृष्ठभाग प्रदान करतो, तर TaC कोटिंग रासायनिक अभिक्रिया आणि पोशाखांपासून संरक्षणाचा अतिरिक्त स्तर जोडतो.
सेमिकयुगTaC कोटेड प्लेट ग्राहकांच्या विशिष्ट गरजांनुसार सानुकूलित केली जाते, त्यांच्या SiC epitaxial प्रणालीसह उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि सुसंगतता सुनिश्चित करते. आकार, आकार किंवा इतर वैशिष्ट्ये असोत, या प्लेट्स प्रत्येक अनुप्रयोगाच्या अद्वितीय गरजा पूर्ण करण्यासाठी तयार केल्या आहेत.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा जीवन आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
