TaC कोटिंगहे एक महत्त्वाचे मटेरियल कोटिंग आहे, जे सहसा मेटल ऑरगॅनिक केमिकल वाष्प डिपॉझिशन (MOCVD) तंत्रज्ञानाद्वारे ग्रेफाइट बेसवर तयार केले जाते. या कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत, जसे की उच्च कडकपणा, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक स्थिरता आणि विविध उच्च-मागणी अभियांत्रिकी अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहे.
MOCVD तंत्रज्ञान हे सामान्यतः वापरले जाणारे पातळ फिल्म ग्रोथ तंत्रज्ञान आहे जे उच्च तापमानात रिऍक्टिव्ह वायूंसह धातूच्या सेंद्रिय पूर्ववर्तींवर प्रतिक्रिया देऊन इच्छित कंपाऊंड फिल्म सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा करते. तयार करतानाTaC कोटिंग, योग्य मेटल सेंद्रिय पूर्ववर्ती आणि कार्बन स्रोत निवडणे, प्रतिक्रिया परिस्थिती आणि जमा मापदंड नियंत्रित करणे, ग्रेफाइट बेसवर एकसमान आणि दाट TaC फिल्म जमा केली जाऊ शकते.
सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.
अनेक वर्षांच्या विकासानंतर, सेमिसेराने तंत्रज्ञानावर विजय मिळवला आहेCVD TaCसंशोधन आणि विकास विभागाच्या संयुक्त प्रयत्नांनी. SiC वेफर्सच्या वाढीच्या प्रक्रियेत दोष येणे सोपे आहे, परंतु वापरल्यानंतरTaC, फरक लक्षणीय आहे. खाली TaC सह आणि शिवाय वेफर्सची तुलना तसेच सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी Simicera' भागांची तुलना केली आहे.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा जीवन आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
