CVD TaC कोटिंग

CVD TaC कोटिंगचा परिचय:

CVD TaC कोटिंग हे तंत्रज्ञान आहे जे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग जमा करण्यासाठी रासायनिक वाष्प संचय वापरते. टँटलम कार्बाइड ही उत्कृष्ट यांत्रिक आणि रासायनिक गुणधर्म असलेली उच्च-कार्यक्षमता सिरेमिक सामग्री आहे. CVD प्रक्रिया गॅस रिॲक्शनद्वारे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर एकसमान TaC फिल्म तयार करते.

मुख्य वैशिष्ट्ये:

उत्कृष्ट कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: टँटलम कार्बाइडमध्ये अत्यंत कडकपणा आहे, आणि CVD TaC कोटिंग सब्सट्रेटच्या पोशाख प्रतिकारामध्ये लक्षणीय सुधारणा करू शकते. हे कटिंग टूल्स आणि मोल्ड यांसारख्या उच्च पोशाख वातावरणातील अनुप्रयोगांसाठी कोटिंग आदर्श बनवते.

उच्च तापमान स्थिरता: TaC कोटिंग्ज 2200°C पर्यंत तापमानात गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी घटकांचे संरक्षण करतात, चांगली स्थिरता दर्शवतात. हे अत्यंत तापमानाच्या परिस्थितीत रासायनिक आणि यांत्रिक स्थिरता राखते, उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी आणि उच्च-तापमान वातावरणात अनुप्रयोगांसाठी योग्य बनवते.

उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: टँटलम कार्बाइडमध्ये बहुतेक ऍसिडस् आणि अल्कलींना तीव्र गंज प्रतिकार असतो आणि CVD TaC कोटिंग गंजक वातावरणात सब्सट्रेटचे नुकसान प्रभावीपणे रोखू शकते.

उच्च हळुवार बिंदू: टँटलम कार्बाइडचा उच्च वितळ बिंदू (अंदाजे 3880°C) असतो, ज्यामुळे CVD TaC कोटिंग अत्यंत उच्च तापमानात वितळता किंवा खराब न होता वापरता येते.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: TaC कोटिंगमध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, जी उच्च-तापमान प्रक्रियेत उष्णता प्रभावीपणे नष्ट करण्यास आणि स्थानिक अतिउष्णतेस प्रतिबंध करण्यास मदत करते.

संभाव्य अनुप्रयोग:

• गॅलियम नायट्राइड (GaN) आणि सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल CVD अणुभट्टी घटक ज्यात वेफर कॅरिअर्स, सॅटेलाइट डिश, शॉवरहेड्स, सिलिंग्स आणि ससेप्टर्स यांचा समावेश आहे

• सिलिकॉन कार्बाइड, गॅलियम नायट्राइड आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) क्रिस्टल ग्रोथ घटक ज्यात क्रुसिबल, सीड होल्डर, मार्गदर्शक रिंग आणि फिल्टर

• रेझिस्टन्स हीटिंग एलिमेंट्स, इंजेक्शन नोझल्स, मास्किंग रिंग्स आणि ब्रेझिंग जिग्ससह औद्योगिक घटक

अनुप्रयोग वैशिष्ट्ये:

• तापमान 2000°C पेक्षा जास्त स्थिर, अत्यंत तापमानात काम करण्यास अनुमती देते
• हायड्रोजन (Hz), अमोनिया (NH3), मोनोसिलेन (SiH4) आणि सिलिकॉन (Si) यांना प्रतिरोधक, कठोर रासायनिक वातावरणात संरक्षण प्रदान करते
• त्याची थर्मल शॉक रेझिस्टन्स जलद ऑपरेटिंग सायकल सक्षम करते
• ग्रेफाइटमध्ये मजबूत आसंजन आहे, दीर्घ सेवा आयुष्य सुनिश्चित करते आणि कोटिंग डिलेमिनेशन नाही.
• अनावश्यक अशुद्धता किंवा दूषित घटक दूर करण्यासाठी अति-उच्च शुद्धता
• घट्ट मितीय सहिष्णुतेसाठी कॉन्फॉर्मल कोटिंग कव्हरेज

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

CVD द्वारे दाट टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज तयार करणे: