TaC लेपित ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंगच्या पातळ थराच्या पदच्युतीचा संदर्भ घ्याटँटलम कार्बाइडग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंगच्या पृष्ठभागावर पोशाख प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक स्थिरता सुधारण्यासाठी. हे कोटिंग सामान्यतः ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंगच्या पृष्ठभागावर भौतिक वाष्प संचय (PVD) किंवा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) सारख्या तंत्रांद्वारे तयार केले जाते.
सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.
अनेक वर्षांच्या विकासानंतर, सेमिसेराने तंत्रज्ञानावर विजय मिळवला आहेCVD TaCसंशोधन आणि विकास विभागाच्या संयुक्त प्रयत्नांनी. SiC वेफर्सच्या वाढीच्या प्रक्रियेत दोष येणे सोपे आहे, परंतु वापरल्यानंतरTaC, फरक लक्षणीय आहे. खाली TaC सह आणि शिवाय वेफर्सची तुलना तसेच सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी Simicera' भागांची तुलना केली आहे.
TaC लेपित ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंगच्या मुख्य वैशिष्ट्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
1. उच्च तापमान प्रतिकार: TaC कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता आहे आणि उच्च तापमान वातावरणात स्थिरता राखू शकते.
2. पोशाख प्रतिरोध: टँटलम कार्बाइड पातळ थराची उच्च कडकपणा मार्गदर्शक रिंगला चांगला पोशाख प्रतिरोध देते आणि त्याचे सेवा आयुष्य वाढवते.
3. रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंगमध्ये रासायनिक गंजविरूद्ध उच्च स्थिरता आहे, ज्यामुळे ते काही संक्षारक माध्यमांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य बनते.
4. घर्षण कमी करा: TaC कोटिंग ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंग आणि इतर घटकांमधील घर्षण प्रभावीपणे कमी करू शकते आणि यांत्रिक सीलची कार्यक्षमता सुधारू शकते.
TaC सह आणि त्याशिवाय
TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर
शिवाय, Semicera च्याTaC-कोटेड उत्पादनेच्या तुलनेत दीर्घ सेवा जीवन आणि जास्त उच्च-तापमान प्रतिकार प्रदर्शित करतेSiC कोटिंग्ज.प्रयोगशाळेच्या मोजमापांनी हे सिद्ध केले आहे की आमचेTaC कोटिंग्ज2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळासाठी सातत्याने कामगिरी करू शकते. खाली आमच्या नमुन्यांची काही उदाहरणे आहेत:
