SOI वेफर्स

आयटम

युक्तिवाद

एकूणच

वेफर व्यास
晶圆尺寸(मिमी)

50/75/100/125/150/200mm±25um

धनुष्य/वार्प
翘曲度(

<10um

कण
颗粒度(

0.3um<30ea

फ्लॅट / खाच
定位边/定位槽

सपाट किंवा खाच

एज एक्सक्लूजन
边缘去除(मिमी)

/

डिव्हाइस स्तर
器件层

उपकरण-स्तर प्रकार/डोपंट
器件层掺杂类型

N-प्रकार/P-प्रकार
B/ P/ Sb/ As

डिव्हाइस-लेयर अभिमुखता
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

उपकरण-स्तर जाडी
器件层厚度(um)

0.1~300um

डिव्हाइस-लेयर प्रतिरोधकता
器件层电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

उपकरण-स्तर कण
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

डिव्हाइस स्तर TTV
器件层TTV(

<10um

डिव्हाइस स्तर समाप्त
器件层表面处理

पॉलिश

बॉक्स

दफन थर्मल ऑक्साईड जाडी
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

हँडल लेयर
衬底

वेफर प्रकार/डोपंट हाताळा
衬底层类型

N-प्रकार/P-प्रकार
B/ P/ Sb/ As

वेफर ओरिएंटेशन हाताळा
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

वेफर प्रतिरोधकता हाताळा
衬底电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

वेफर जाडी हाताळा
衬底厚度(um)

> 100um

वेफर फिनिश हाताळा
衬底表面处理

पॉलिश

लक्ष्य वैशिष्ट्यांचे SOI वेफर्स ग्राहकांच्या गरजेनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात.