सिलिकॉन-इंप्रेग्नेटेड सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पॅडल आणि वेफर वाहक

प्रमुख वैशिष्ट्ये

१.अपवादात्मक उच्च-तापमान प्रतिकार

वितळण्याचा बिंदू 2700°C पेक्षा जास्त असल्याने, SiC सामग्री अत्यंत उष्णतेमध्ये स्वाभाविकपणे स्थिर असते. सिलिकॉन गर्भाधान त्यांची थर्मल स्थिरता आणखी वाढवते, ज्यामुळे त्यांना संरचनात्मक कमकुवत किंवा कार्यक्षमतेत घट न होता उच्च तापमानात दीर्घकाळ टिकून राहता येते.

2.सुपीरियर थर्मल चालकता

सिलिकॉन-इंप्रेग्नेटेड SiC ची अपवादात्मक थर्मल चालकता एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते, गंभीर प्रक्रियेच्या टप्प्यात थर्मल ताण कमी करते. ही मालमत्ता उपकरणांचे आयुष्य वाढवते आणि उत्पादन डाउनटाइम कमी करते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान थर्मल प्रक्रियेसाठी आदर्श बनते.

3.ऑक्सिडेशन आणि गंज प्रतिकार

पृष्ठभागावर एक मजबूत सिलिकॉन ऑक्साईड थर नैसर्गिकरित्या तयार होतो, ज्यामुळे ऑक्सिडेशन आणि गंज यांना उत्कृष्ट प्रतिकार होतो. हे कठोर ऑपरेटिंग वातावरणात दीर्घकालीन विश्वासार्हता सुनिश्चित करते, सामग्री आणि आसपासच्या दोन्ही घटकांचे संरक्षण करते.

4.उच्च यांत्रिक सामर्थ्य आणि पोशाख प्रतिकार

सिलिकॉन-इंप्रेग्नेटेड SiC मध्ये उत्कृष्ट संकुचित शक्ती आणि परिधान प्रतिरोधक वैशिष्ट्ये आहेत, उच्च-भार, उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत त्याची संरचनात्मक अखंडता राखते. हे परिधान-संबंधित नुकसान होण्याचा धोका कमी करते, विस्तारित वापर चक्रांमध्ये सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.