वर्णन
आमची कंपनी पुरवतेSiC कोटिंगग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि इतर सामग्रीच्या पृष्ठभागावर CVD पद्धतीने प्रक्रिया सेवा, जेणेकरून कार्बन आणि सिलिकॉन असलेले विशेष वायू उच्च तापमानावर प्रतिक्रिया देऊन उच्च शुद्धता SiC रेणू, रेणूंच्या पृष्ठभागावर जमा होतात.लेपितसाहित्य, SIC संरक्षणात्मक थर तयार करते.
SiC शॉवर हेडची वैशिष्ट्ये खालीलप्रमाणे आहेत:
1. गंज प्रतिकार: SiC सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक क्षमता असते आणि विविध रासायनिक द्रव आणि द्रावणांची धूप सहन करू शकते आणि विविध रासायनिक प्रक्रिया आणि पृष्ठभाग उपचार प्रक्रियेसाठी योग्य आहे.
2. उच्च तापमान स्थिरता:SiC नोजलउच्च तापमान वातावरणात संरचनात्मक स्थिरता राखू शकते आणि उच्च तापमान उपचार आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहे.
3. एकसमान फवारणी:SiC नोजलडिझाईनमध्ये चांगले फवारणी नियंत्रण कार्यप्रदर्शन आहे, जे एकसमान द्रव वितरण प्राप्त करू शकते आणि हे सुनिश्चित करू शकते की उपचार द्रव लक्ष्य पृष्ठभागावर समान रीतीने झाकलेले आहे.
4. उच्च पोशाख प्रतिरोध: SiC सामग्रीमध्ये उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध असतो आणि दीर्घकालीन वापर आणि घर्षण सहन करू शकतो.
सेमीकंडक्टर उत्पादन, रासायनिक प्रक्रिया, पृष्ठभाग कोटिंग, इलेक्ट्रोप्लेटिंग आणि इतर औद्योगिक क्षेत्रांमध्ये द्रव उपचार प्रक्रियेमध्ये SiC शॉवर हेडचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. प्रक्रिया आणि उपचारांची गुणवत्ता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी हे स्थिर, एकसमान आणि विश्वासार्ह फवारणी प्रभाव प्रदान करू शकते.
मुख्य वैशिष्ट्ये
1. उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध:
जेव्हा तापमान 1600 C पर्यंत असते तेव्हा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध खूप चांगला असतो.
2. उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन स्थितीत रासायनिक बाष्प जमा करून बनवले जाते.
3. धूप प्रतिरोध: उच्च कडकपणा, संक्षिप्त पृष्ठभाग, सूक्ष्म कण.
4. गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
| SiC-CVD गुणधर्म | ||
| क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज | |
| घनता | g/cm ³ | ३.२१ |
| कडकपणा | विकर्स कडकपणा | २५०० |
| धान्य आकार | μm | २~१० |
| रासायनिक शुद्धता | % | ९९.९९९९५ |
| उष्णता क्षमता | J·kg-1 ·K-1 | ६४० |
| उदात्तीकरण तापमान | ℃ | २७०० |
| फेलेक्सरल सामर्थ्य | MPa (RT 4-पॉइंट) | ४१५ |
| तरुणांचे मॉड्यूलस | Gpa (4pt बेंड, 1300℃) | ४३० |
| थर्मल विस्तार (CTE) | 10-6K-1 | ४.५ |
| थर्मल चालकता | (W/mK) | 300 |
