सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक

1. उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि चालकताआमचे SiC-कोटेड वेफर वाहक स्थिर आणि सातत्यपूर्ण तापमान राखण्यात उत्कृष्ट, CVD प्रक्रियेसाठी महत्त्वपूर्ण आहेत. हे एकसमान उष्णतेचे वितरण सुनिश्चित करते, ज्यामुळे उत्कृष्ट पातळ फिल्म आणि कोटिंग गुणवत्ता मिळते.

2. अचूक उत्पादनप्रत्येक वेफर वाहक एकसमान जाडी आणि पृष्ठभाग गुळगुळीतपणा सुनिश्चित करून, काटेकोर मानकांनुसार तयार केले जाते. ही अचूकता एकापेक्षा जास्त वेफर्समध्ये सातत्यपूर्ण डिपॉझिशन रेट आणि फिल्म गुणधर्म साध्य करण्यासाठी, एकूण उत्पादन गुणवत्ता वाढवण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

3. अशुद्धता अडथळाSiC कोटिंग एक अभेद्य अडथळा म्हणून कार्य करते, ससेप्टरमधून वेफरमध्ये अशुद्धतेचा प्रसार रोखते. हे दूषित होण्याचे धोके कमी करते, जे उच्च-शुद्धता सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

4. टिकाऊपणा आणि खर्च कार्यक्षमतामजबूत बांधकाम आणि SiC कोटिंग वेफर वाहकांची टिकाऊपणा वाढवते, ज्यामुळे ससेप्टर बदलण्याची वारंवारता कमी होते. यामुळे देखभाल खर्च कमी होतो आणि सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग ऑपरेशन्सची कार्यक्षमता वाढते आणि डाउनटाइम कमी होतो.

5. सानुकूलन पर्यायSiC कोटिंगसह Semicorex Wafer Carriers आकार, आकार आणि कोटिंगच्या जाडीतील फरकांसह विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित केले जाऊ शकतात. ही लवचिकता वेगवेगळ्या सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेच्या अद्वितीय मागणीशी जुळण्यासाठी ससेप्टरच्या ऑप्टिमायझेशनला अनुमती देते. सानुकूलित पर्याय उच्च-खंड उत्पादन किंवा संशोधन आणि विकास यासारख्या विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी तयार केलेल्या ससेप्टर डिझाइनचा विकास सक्षम करतात, विशिष्ट वापराच्या प्रकरणांसाठी इष्टतम कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करतात.