सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग

सेमिसेरासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यंत कठोर आणि पोशाख-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्रीपासून बनविलेले उच्च-कार्यक्षम संरक्षणात्मक कोटिंग आहे. कोटिंग सहसा सीव्हीडी किंवा पीव्हीडी प्रक्रियेद्वारे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर जमा केली जातेसिलिकॉन कार्बाइड कण, उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करते. म्हणून, सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या मुख्य घटकांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते.

सेमीकंडक्टर उत्पादनात,SiC कोटिंग1600°C पर्यंत अत्यंत उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो, म्हणून सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग उच्च तापमान किंवा संक्षारक वातावरणात नुकसान टाळण्यासाठी उपकरणे किंवा साधनांसाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून वापरले जाते.

त्याच वेळी,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगऍसिडस्, अल्कली, ऑक्साइड आणि इतर रासायनिक अभिकर्मकांच्या क्षरणास प्रतिकार करू शकतात आणि विविध रासायनिक पदार्थांना उच्च गंज प्रतिरोधक आहे. म्हणून, हे उत्पादन अर्धसंवाहक उद्योगातील विविध संक्षारक वातावरणासाठी योग्य आहे.

शिवाय, इतर सिरेमिक मटेरियलच्या तुलनेत, SiC ची थर्मल चालकता जास्त आहे आणि ती उष्णता प्रभावीपणे चालवू शकते. हे वैशिष्ट्य निश्चित करते की सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये ज्यांना अचूक तापमान नियंत्रण आवश्यक असते, उच्च थर्मल चालकतासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगउष्णता समान रीतीने विखुरण्यास, स्थानिक अतिउष्णतेस प्रतिबंध करण्यास आणि उपकरण इष्टतम तापमानावर चालते याची खात्री करण्यास मदत करते.