SiC कोटिंग ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर

1. उत्कृष्ट साहित्य गुणधर्मउच्च-दर्जाच्या SiC मधून तयार केलेले, आमचे वेफर ससेप्टर्स अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि रासायनिक प्रतिकार प्रदर्शित करतात. हे गुणधर्म त्यांना उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंसह, दीर्घायुष्य आणि विश्वासार्ह कामगिरी सुनिश्चित करून MOCVD प्रक्रियेच्या अत्यंत परिस्थितीचा सामना करण्यास सक्षम करतात.

2. एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनमध्ये अचूकताआमच्या SiC वेफर ससेप्टर्सचे अचूक अभियांत्रिकी संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर समान तापमान वितरण सुनिश्चित करते, सातत्यपूर्ण आणि उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयरची वाढ सुलभ करते. इष्टतम विद्युत गुणधर्मांसह अर्धसंवाहक तयार करण्यासाठी ही अचूकता महत्त्वपूर्ण आहे.

3. वर्धित टिकाऊपणामजबूत SiC सामग्री कठोर प्रक्रिया वातावरणात सतत संपर्कात असताना देखील, पोशाख आणि ऱ्हास यांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. ही टिकाऊपणा ससेप्टर बदलण्याची वारंवारता कमी करते, डाउनटाइम आणि ऑपरेशनल खर्च कमी करते.