RTPCVD SiC रिंगउच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात औद्योगिक आणि वैज्ञानिक क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात. हे सेमीकंडक्टर उत्पादन, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, अचूक यंत्रसामग्री आणि रासायनिक उद्योगात महत्त्वाची भूमिका बजावते. विशिष्ट अनुप्रयोगांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
1. सेमीकंडक्टर उत्पादन:RTP CVD SiC रिंगसेमीकंडक्टर उपकरणे गरम करण्यासाठी आणि थंड करण्यासाठी, स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करण्यासाठी आणि प्रक्रियेची अचूकता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी वापरली जाऊ शकते.
2. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स: उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उच्च तापमान प्रतिरोधकतेमुळे, आर.टी.पी.CVD SiC रिंगलेसर, फायबर ऑप्टिक कम्युनिकेशन उपकरणे आणि ऑप्टिकल घटकांसाठी समर्थन आणि उष्णता नष्ट करणारे साहित्य म्हणून वापरले जाऊ शकते.
3. प्रिसिजन मशिनरी: RTP CVD SiC रिंग्स उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात अचूक साधने आणि उपकरणांसाठी वापरली जाऊ शकतात, जसे की उच्च तापमान भट्टी, व्हॅक्यूम उपकरणे आणि रासायनिक अणुभट्ट्या.
4. रासायनिक उद्योग: त्याच्या गंज प्रतिरोधकतेमुळे आणि रासायनिक स्थिरतेमुळे, RTP CVD SiC रिंग्ज कंटेनर, पाईप्स आणि अणुभट्ट्यांमध्ये रासायनिक अभिक्रिया आणि उत्प्रेरक प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाऊ शकतात.
Epi प्रणाली
RTP प्रणाली
CVD प्रणाली
उत्पादन कामगिरी:
1. 28nm खाली प्रक्रिया पूर्ण करा
2. सुपर गंज प्रतिकार
3. सुपर स्वच्छ कामगिरी
4. सुपर कडकपणा
5. उच्च घनता
6. उच्च तापमान प्रतिकार
7. प्रतिकार परिधान करा
उत्पादन अर्ज:
सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीमध्ये उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध, गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान स्थिरता ही वैशिष्ट्ये आहेत. उत्कृष्ट सर्वसमावेशक कामगिरी असलेली उत्पादने कोरड्या कोरीव काम आणि TF/डिफ्यूजन प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात.
उत्पादन कामगिरी:
1. 28nm खाली प्रक्रिया पूर्ण करा
2. सुपर गंज प्रतिकार
3. सुपर स्वच्छ कामगिरी
4. सुपर कडकपणा
5. उच्च घनता
6. उच्च तापमान प्रतिकार
7. प्रतिकार परिधान करा
संमिश्र प्रक्रिया विकास:
• ग्रेफाइट +SiC कोटिंग
• सॉलिड CVD SiC
• सिंटर्ड SiC+CVD
• SicSintered SiC
एकाधिक उत्पादन प्रकार विकास:
• रिंग
• टेबल
• ससेप्टर
• शॉवर डोके
