सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड, SiC क्रिस्टल वाढीसाठी गरम क्षेत्र सामग्री

संक्षिप्त वर्णन:

सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड प्रामुख्याने गॅस फेज घटक गाळण्यासाठी, स्थानिक तापमान ग्रेडियंट समायोजित करण्यासाठी, सामग्रीच्या प्रवाहाची दिशा निर्देशित करण्यासाठी, गळती नियंत्रित करण्यासाठी वापरली जाते. स्थानिक घटक तयार करण्यासाठी सेमिसेरा तंत्रज्ञानाच्या दुसर्या घन टँटलम कार्बाइड (कॉम्पॅक्ट) किंवा टँटलम कार्बाइड कोटिंगसह वापरला जाऊ शकतो. भिन्न प्रवाह प्रवाहासह.

 


उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग

सेमिसेरा विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रदान करते.सेमिसेरा अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेमुळे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त करण्यास सक्षम करते, SIC/GAN क्रिस्टल्स आणि EPI स्तरांच्या उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते (ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), आणि प्रमुख अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवणे. टँटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंगचा वापर काठाची समस्या सोडवण्यासाठी आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी आहे आणि सेमिसेराने टँटॅलम कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान (CVD) आंतरराष्ट्रीय प्रगत स्तरावर पोहोचले आहे.

 

अनेक वर्षांच्या विकासानंतर, सेमिसेराने तंत्रज्ञानावर विजय मिळवला आहेCVD TaCसंशोधन आणि विकास विभागाच्या संयुक्त प्रयत्नांनी. SiC वेफर्सच्या वाढीच्या प्रक्रियेत दोष येणे सोपे आहे, परंतु वापरल्यानंतरTaC, फरक लक्षणीय आहे. खाली TaC सह आणि शिवाय वेफर्सची, तसेच सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी सेमिसेरा भागांची तुलना आहे

微信图片_20240227150045

TaC सह आणि त्याशिवाय

微信图片_20240227150053

TaC (उजवीकडे) वापरल्यानंतर

याव्यतिरिक्त, Semicera च्या TaC कोटिंग उत्पादनांचे सेवा जीवन SiC कोटिंगच्या तुलनेत जास्त काळ आणि उच्च तापमानास अधिक प्रतिरोधक आहे. प्रयोगशाळेच्या मापन डेटाच्या बर्याच काळानंतर, आमचे TaC जास्तीत जास्त 2300 अंश सेल्सिअस तापमानात दीर्घकाळ काम करू शकते. आमचे काही नमुने खालीलप्रमाणे आहेत:

微信截图_20240227145010

(a) PVT पद्धतीने SiC सिंगल क्रिस्टल इनगॉट वाढणाऱ्या यंत्राचे योजनाबद्ध आकृती (b) Top TaC कोटेड सीड ब्रॅकेट (SIC बीजांसह) (c) TAC-कोटेड ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंग

ZDFVzCFV
मुख्य वैशिष्ट्य
सेमिसेरा कामाची जागा
सेमिसेरा कामाची जागा 2
उपकरणे मशीन
CNN प्रक्रिया, रासायनिक स्वच्छता, CVD कोटिंग
आमची सेवा

  • मागील:
  • पुढील: