वेफर वाहक परिचय
उत्पादन श्रेणी
▶PECVD आणि TALOX प्रक्रियेसाठी वेफर वाहक प्रणाली
• PECVD आणि TALOX ग्रेफाइट बोट (M4~M12)
• अनुलंब SM-बोट (M4, M6)
• इम्प्लांट आणि शॉवर ग्रेफाइट भाग (M4~M6)
• C/C ट्रे आणि सिरॅमिक कोटिंग
• मेटल RIE-ट्रे आणि सिरॅमिक कोटिंग
• व्हॅक्यूम सीलिंग : ओ-रिंग आणि एसक्यू-रिंग
▶टेक्सचरिंग आणि वेट एचिंग ट्रान्सफर प्रक्रिया
• LSC H-कॅरिअर किंवा कॅसेट (M4~M12)
• LSC V-कॅरिअर किंवा कॅसेट (M4~M12)
• ASC वाहक किंवा कॅसेट (M4, M6)
• W/F वाहक आणि स्टोरेज बॉक्स (M4~M12)
• ट्रान्सपोर्ट व्हील (रोलर) मालिका
▶सौर सेल वाहक आणि धातू वाहक
• TRC वाहक किंवा कॅसेट (M4~M12)
• मासिक (BELT सह)
ग्रेफाइट बोट (एच-प्रकार)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ग्रेफाइट बोट (एच-प्रकार)
21P6-240CT WF M4~M12)
ग्रेफाइट बोट (एच-प्रकार)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ग्रेफाइट बोट (एच-प्रकार)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ग्रेफाइट बोट (एच-प्रकार)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF वाहक आणि स्टोरेज बॉक्स (~M12)
C/C ट्रे किंवा वाहक (M4~M10)
C/C ट्रे किंवा वाहक (M4~M10)
अनुलंब बोट (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC वाहक (~M6)
TRC वाहक(~M12)
TRC वाहक(~M12)
ग्रेफाइट-बोट(M12)
PECVD प्रक्रियेसाठी वेफर वाहक प्रणाली
▶ ग्रेफाइट बोट (CT-डिझाइन केलेली) M10/M12 प्रक्रिया
• विशेष डिझाइन संकल्पना
▶ ग्रेफाइट बोट (CT-डिझाइन केलेली) M4/M6 प्रक्रिया
▶ बोटीचे ऍक्सेसरी पार्ट्स
▶ वर्टिकल बोट - 161.7 मिमी वेफर
▶ उभ्या बोट - 166 मिमी वेफर
▶ अनुलंब बोट - 161.7 मिमी, 166 मिमी वेफर
सौर सेल वाहक आणि धातू TRC वाहक
प्रकार: ऑटोमेशन
वेफर आकार : ① 156×156mm ② 156.75×156.75mm
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
वापर: वाहून नेणे (कॅसेट)
क्षमता: 100 शीट
पिच: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
परिमाण : अंदाजे ५५९×२२०×२२० मिमी
अंदाजे 712×260×260MM
फायदा: वातावरण
साहित्य : फ्लेम, साइड बार-ॲल्युमिनियम (ॲनोडायझिंग)
साइड प्लेट-पोम (अँटीस्टॅटिक)
तळाच्या पट्टीचे कव्हर-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-मेटल वाहक (U'SER लाइन)
TRC-मेटल वाहक (U'SER लाइन)
TRC-मेटल वाहक (U'SER लाइन)
शॉवर प्लेट आणि रोपण, वाहक
