टँटलम कार्बाइड (TaC)TaC x हे रासायनिक सूत्र असलेले टँटलम आणि कार्बनचे बायनरी कंपाऊंड आहे, जेथे x सामान्यतः 0.4 आणि 1 दरम्यान बदलतो. ते धातू चालकता असलेले अत्यंत कठोर, ठिसूळ, रीफ्रॅक्टरी सिरॅमिक पदार्थ आहेत. ते तपकिरी-राखाडी पावडर आहेत आणि सहसा सिंटरिंगद्वारे प्रक्रिया केली जातात.
टँटलम कार्बाइडएक महत्त्वपूर्ण धातूची सिरेमिक सामग्री आहे. टँटलम कार्बाइडचा एक अतिशय महत्त्वाचा वापर म्हणजे टँटलम कार्बाइड कोटिंग.
टँटलम कार्बाइड कोटिंगची उत्पादन वैशिष्ट्ये
उच्च हळुवार बिंदू: चा वितळण्याचा बिंदूटँटलम कार्बाइडम्हणून उच्च आहे३८८०°से, ज्यामुळे ते उच्च तापमान वातावरणात स्थिर होते आणि वितळणे किंवा कमी होणे सोपे नसते.
कामाची स्थिती:सर्वसाधारणपणे, टँटलम कार्बाइड (TaC) ची सामान्य कार्य स्थिती 2200°C असते. त्याच्या अत्यंत उच्च वितळण्याच्या बिंदूचा विचार करून, TaC त्याची संरचनात्मक अखंडता न गमावता अशा उच्च तापमानाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.
कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: यात अत्यंत कडकपणा आहे (मोह्स कडकपणा सुमारे 9-10 आहे) आणि प्रभावीपणे पोशाख आणि ओरखडे यांचा प्रतिकार करू शकतो.
रासायनिक स्थिरता: यात बहुतेक ऍसिडस् आणि अल्कलीस चांगली रासायनिक स्थिरता असते आणि ते गंज आणि रासायनिक अभिक्रियांना प्रतिकार करू शकते.
थर्मल चालकता: चांगली औष्णिक चालकता ते प्रभावीपणे उष्णता पसरवण्यास आणि चालविण्यास सक्षम करते, ज्यामुळे सामग्रीवर उष्णता जमा होण्याचा प्रभाव कमी होतो.
सेमीकंडक्टर उद्योगातील अनुप्रयोग परिस्थिती आणि फायदे
MOCVD उपकरणे: MOCVD (रासायनिक बाष्प जमा) उपकरणांमध्ये,टँटलम कार्बाइड कोटिंग्जप्रतिक्रिया कक्ष आणि इतर उच्च-तापमान घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी, ठेवींद्वारे उपकरणांची धूप कमी करण्यासाठी आणि उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढविण्यासाठी वापरले जाते.
फायदे: उपकरणांचा उच्च-तापमान प्रतिकार सुधारणे, देखभाल वारंवारता आणि खर्च कमी करणे आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारणे.
वेफर प्रक्रिया: वेफर प्रोसेसिंग आणि ट्रान्समिशन सिस्टममध्ये वापरल्या जाणाऱ्या, टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज उपकरणांचा पोशाख प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार वाढवू शकतात.
फायदे: पोशाख किंवा गंज यामुळे उत्पादनाच्या गुणवत्तेच्या समस्या कमी करा आणि वेफर प्रक्रियेची स्थिरता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करा.
सेमीकंडक्टर प्रक्रिया साधने: सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या साधनांमध्ये, जसे की आयन इम्प्लांटर्स आणि एचर, टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज साधनांचा टिकाऊपणा सुधारू शकतात.
फायदे: साधनांचे सेवा आयुष्य वाढवा, डाउनटाइम आणि बदली खर्च कमी करा आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारा.
उच्च तापमान क्षेत्र: उच्च तापमानाच्या वातावरणात इलेक्ट्रॉनिक घटक आणि उपकरणांमध्ये, उच्च तापमानापासून सामग्रीचे संरक्षण करण्यासाठी टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज वापरली जातात.
फायदे: अत्यंत तापमानाच्या परिस्थितीत इलेक्ट्रॉनिक घटकांची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करा.
भविष्यातील विकास ट्रेंड
साहित्य सुधारणा: भौतिक विज्ञानाच्या विकासासह, चे सूत्रीकरण आणि निक्षेप तंत्रज्ञानटँटलम कार्बाइड कोटिंग्जत्याचे कार्यप्रदर्शन सुधारण्यासाठी आणि खर्च कमी करण्यासाठी सुधारणे सुरू राहील. उदाहरणार्थ, अधिक टिकाऊ आणि कमी किमतीची कोटिंग सामग्री विकसित केली जाऊ शकते.
डिपॉझिशन तंत्रज्ञान: टँटलम कार्बाइड कोटिंग्जची गुणवत्ता आणि कार्यप्रदर्शन इष्टतम करण्यासाठी सुधारित PVD आणि CVD तंत्रज्ञानासारखे अधिक कार्यक्षम आणि अचूक डिपॉझिशन तंत्रज्ञान असणे शक्य होईल.
नवीन अर्ज क्षेत्रे: चे अर्ज क्षेत्रेटँटलम कार्बाइड कोटिंग्जउच्च-कार्यक्षमता सामग्रीची मागणी पूर्ण करण्यासाठी एरोस्पेस, ऊर्जा आणि ऑटोमोटिव्ह उद्योगांसारख्या उच्च-तंत्रज्ञान आणि औद्योगिक क्षेत्रांमध्ये विस्तार होईल.
पोस्ट वेळ: ऑगस्ट-०८-२०२४