MOCVD ससेप्टर म्हणजे काय?

दMOCVDएकल फेज InGaN एपिलेअर्स, III-N मटेरियल आणि मल्टी क्वांटम वेल स्ट्रक्चर्ससह सेमीकंडक्टर फिल्म्स यासारख्या उच्च दर्जाच्या सिंगल स्फटिक पातळ फिल्म्स वाढवण्यासाठी उद्योगात सध्या वापरल्या जाणाऱ्या सर्वात स्थिर प्रक्रियांपैकी एक पद्धत आहे आणि तिचे मोठ्या प्रमाणात महत्त्व आहे. सेमीकंडक्टर आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणांचे उत्पादन.

दSiC कोटिंग MOCVD ससेप्टरसाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सह लेपित एक विशेष वेफर होल्डर आहेएपिटॅक्सियल मेटल ऑर्गेनिक केमिकल वाफ डिपॉझिशन (MOCVD) प्रक्रियेत वाढ.

SiC कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता आहे, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेची मागणी करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या MOCVD ससेप्टर्ससाठी ते एक आदर्श पर्याय बनते.

MOCVD प्रक्रियेचा मुख्य घटक म्हणजे ससेप्टर, जो उत्पादित पातळ चित्रपटांची एकसमानता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी एक प्रमुख घटक आहे.

ससेप्टर म्हणजे काय? ससेप्टर हा MOCVD प्रक्रियेत वापरला जाणारा एक विशेष घटक आहे ज्यावर पातळ फिल्म जमा केली जाते त्या सब्सट्रेटला आधार देण्यासाठी आणि गरम करण्यासाठी वापरला जातो. यात इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक ऊर्जा शोषून घेणे, तिचे उष्णतेमध्ये रूपांतर करणे आणि थरावर समान रीतीने उष्णता वितरीत करणे यासह अनेक कार्ये आहेत. अचूक जाडी आणि रचना असलेल्या एकसमान पातळ फिल्म्सच्या वाढीसाठी हे एकसमान गरम करणे आवश्यक आहे.

ससेप्टर्सचे प्रकार:
1. ग्रेफाइट ससेप्टर्स: ग्रॅफाइट ससेप्टर्स सहसा संरक्षणात्मक थराने लेपित असतात जसे कीसिलिकॉन कार्बाइड (SiC), जे त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि स्थिरतेसाठी ओळखले जाते. दSiC कोटिंगएक कठोर, संरक्षणात्मक पृष्ठभाग प्रदान करते जे उच्च तापमानात गंज आणि ऱ्हासाला प्रतिकार करते.

2. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ससेप्टर्स: हे ससेप्टर्स पूर्णपणे SiC चे बनलेले आहेत आणि उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि पोशाख प्रतिरोधक आहेत. SiC ससेप्टर्स उच्च-तापमान प्रक्रिया आणि संक्षारक वातावरणासाठी विशेषतः योग्य आहेत.

MOCVD मध्ये ससेप्टर्स कसे कार्य करतात:

MOCVD प्रक्रियेत, पूर्ववर्ती प्रतिक्रिया कक्षेत आणले जातात जेथे ते विघटित होतात आणि सब्सट्रेटवर पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी प्रतिक्रिया देतात. सब्सट्रेट समान रीतीने गरम केले आहे याची खात्री करून ससेप्टर महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते, जे संपूर्ण थर पृष्ठभागावर स्थिर फिल्म गुणधर्म प्राप्त करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. तापमान श्रेणी आणि रासायनिक सुसंगतता यासारख्या डिपॉझिशन प्रक्रियेच्या विशिष्ट आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ससेप्टरची सामग्री आणि डिझाइन काळजीपूर्वक निवडले जाते.

उच्च-गुणवत्तेचे ससेप्टर्स वापरण्याचे फायदे:
• वर्धित फिल्म गुणवत्ता: एकसमान उष्णता वितरण प्रदान करून, ससेप्टर स्थिर जाडी आणि रचना असलेल्या फिल्म्स प्राप्त करण्यास मदत करते, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कार्यक्षमतेसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.
• सुधारित प्रक्रिया कार्यक्षमता: उच्च-गुणवत्तेचे ससेप्टर्स दोषांची शक्यता कमी करून आणि वापरण्यायोग्य चित्रपटांचे उत्पन्न वाढवून MOCVD प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता वाढवतात.
• आयुर्मान आणि विश्वासार्हता: SiC सारख्या टिकाऊ सामग्रीपासून बनविलेले ससेप्टर्स दीर्घकालीन विश्वासार्हता सुनिश्चित करतात आणि देखभाल खर्च कमी करतात.

ससेप्टर हा MOCVD प्रक्रियेतील एक अविभाज्य घटक आहे आणि पातळ फिल्म डिपॉझिशनच्या गुणवत्तेवर आणि कार्यक्षमतेवर थेट परिणाम करतो. उपलब्ध आकार, MOCVD ससेप्टर्स आणि किमतींबद्दल अधिक माहितीसाठी, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका. आमचे अभियंते तुम्हाला योग्य सामग्रीबद्दल सल्ला देण्यात आणि तुमच्या सर्व प्रश्नांची उत्तरे देण्यात आनंदित होतील.

फोन: +८६-१३३७३८८९६८३
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com