SiC लेपित ग्रेफाइट बॅरल

च्या मुख्य घटकांपैकी एक म्हणूनMOCVD उपकरणे, ग्रेफाइट बेस हा सब्सट्रेटचा वाहक आणि हीटिंग बॉडी आहे, जो थेट फिल्म सामग्रीची एकसमानता आणि शुद्धता निर्धारित करतो, म्हणून त्याची गुणवत्ता थेट एपिटॅक्सियल शीटच्या तयारीवर परिणाम करते आणि त्याच वेळी, संख्येत वाढ होते. वापर आणि कामाच्या परिस्थितीतील बदल, ते परिधान करणे खूप सोपे आहे, उपभोग्य वस्तूंचे आहे.

जरी ग्रेफाइटमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि स्थिरता आहे, तरीही त्याचा आधार घटक म्हणून चांगला फायदा आहेMOCVD उपकरणे, परंतु उत्पादन प्रक्रियेत, उपरोधिक वायू आणि धातूच्या सेंद्रिय पदार्थांच्या अवशेषांमुळे ग्रेफाइट पावडरला गंज करेल आणि ग्रेफाइट बेसचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात कमी होईल. त्याच वेळी, ग्रेफाइट पावडर घसरल्याने चिपमध्ये प्रदूषण होईल.

कोटिंग तंत्रज्ञानाचा उदय पृष्ठभागावर पावडर फिक्सेशन प्रदान करू शकतो, थर्मल चालकता वाढवू शकतो आणि उष्णता वितरण समान करू शकतो, जे या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान बनले आहे. मध्ये ग्रेफाइट बेसMOCVD उपकरणेपर्यावरणाचा वापर करा, ग्रेफाइट बेस पृष्ठभागाच्या कोटिंगने खालील वैशिष्ट्ये पूर्ण केली पाहिजेत:

(1) ग्रेफाइट बेस पूर्णपणे गुंडाळला जाऊ शकतो, आणि घनता चांगली आहे, अन्यथा ग्रेफाइट बेसला गंजलेल्या वायूमध्ये गंजणे सोपे आहे.

(२) उच्च तापमान आणि कमी तापमानाच्या चक्रानंतर कोटिंग सहज पडणार नाही याची खात्री करण्यासाठी ग्रेफाइट बेससह एकत्रित ताकद जास्त असते.

(३) उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात कोटिंग फेल होऊ नये म्हणून त्याची रासायनिक स्थिरता चांगली आहे.

SiC मध्ये गंज प्रतिरोधकता, उच्च थर्मल चालकता, थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि उच्च रासायनिक स्थिरता हे फायदे आहेत आणि ते GaN एपिटॅक्सियल वातावरणात चांगले कार्य करू शकतात. याव्यतिरिक्त, SiC चा थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइटपेक्षा फारच कमी आहे, म्हणून ग्रेफाइट बेसच्या पृष्ठभागाच्या आवरणासाठी SiC ही पसंतीची सामग्री आहे.

सध्या, सामान्य SiC मुख्यतः 3C, 4H आणि 6H प्रकार आहे आणि वेगवेगळ्या क्रिस्टल प्रकारांचे SiC वापर भिन्न आहेत. उदाहरणार्थ, 4H-SiC उच्च-शक्ती उपकरणे तयार करू शकते; 6H-SiC सर्वात स्थिर आहे आणि फोटोइलेक्ट्रिक उपकरण तयार करू शकते; GaN सारखीच रचना असल्यामुळे, 3C-SiC चा वापर GaN एपिटॅक्सियल लेयर तयार करण्यासाठी आणि SiC-GaN RF उपकरणे तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. 3C-SiC या नावाने देखील ओळखले जातेβ-SiC, आणि एक महत्त्वाचा वापरβ-SiC एक फिल्म आणि कोटिंग सामग्री म्हणून आहे, म्हणूनβ-SiC सध्या कोटिंगसाठी मुख्य सामग्री आहे.