पातळ फिल्मच्या शीटचा प्रतिकार कसा मोजायचा?

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वापरल्या जाणाऱ्या पातळ चित्रपटांना सर्व प्रतिकार असतो आणि चित्रपटाच्या प्रतिकाराचा थेट परिणाम उपकरणाच्या कार्यक्षमतेवर होतो. आम्ही सहसा चित्रपटाचा संपूर्ण प्रतिकार मोजत नाही, परंतु ते वैशिष्ट्यीकृत करण्यासाठी शीट प्रतिरोध वापरतो.

शीट प्रतिरोध आणि व्हॉल्यूम प्रतिरोधकता काय आहेत?

व्हॉल्यूम रेझिस्टिव्हिटी, ज्याला व्हॉल्यूम रेझिस्टिव्हिटी असेही म्हणतात, ही सामग्रीचा एक अंतर्निहित गुणधर्म आहे जो सामग्री विद्युत प्रवाहाच्या प्रवाहात किती अडथळा आणते हे दर्शवते. सामान्यतः वापरलेले चिन्ह ρ दर्शवते, एकक Ω आहे.

शीट रेझिस्टन्स, ज्याला शीट रेझिस्टन्स असेही म्हणतात, त्याचे इंग्रजी नाव शीट रेझिस्टन्स आहे, जे प्रति युनिट क्षेत्रफळाच्या फिल्मच्या प्रतिकार मूल्याचा संदर्भ देते. व्यक्त करण्यासाठी सामान्यतः वापरलेली चिन्हे Rs किंवा ρs, एकक Ω/sq किंवा Ω/□ आहे

दोघांमधील संबंध आहे: शीट रेझिस्टन्स = व्हॉल्यूम रेझिस्टिव्हिटी/फिल्म जाडी, म्हणजेच रुपये =ρ/t

शीटचा प्रतिकार का मोजायचा?

चित्रपटाचा संपूर्ण प्रतिकार मोजण्यासाठी चित्रपटाच्या भौमितिक परिमाणांचे (लांबी, रुंदी, जाडी) अचूक ज्ञान आवश्यक असते, ज्यामध्ये अनेक चल असतात आणि ते अतिशय पातळ किंवा अनियमित आकाराच्या चित्रपटांसाठी अतिशय गुंतागुंतीचे असते. शीटचा प्रतिकार केवळ चित्रपटाच्या जाडीशी संबंधित आहे आणि आकाराच्या जटिल गणनाशिवाय त्वरित आणि थेट चाचणी केली जाऊ शकते.

शीटचा प्रतिकार मोजण्यासाठी कोणत्या चित्रपटांची आवश्यकता आहे?

साधारणपणे, प्रवाहकीय चित्रपट आणि अर्धसंवाहक चित्रपटांना चौरस प्रतिरोधकतेसाठी मोजले जाणे आवश्यक आहे, तर इन्सुलेट चित्रपटांना मोजण्याची आवश्यकता नाही.
सेमीकंडक्टर डोपिंगमध्ये, सिलिकॉनचा शीट प्रतिरोध देखील मोजला जातो.

चौरस प्रतिकार कसा मोजायचा?

फोर-प्रोब पद्धत सामान्यतः उद्योगात वापरली जाते. फोर-प्रोब पद्धत 1E-3 ते 1E+9Ω/sq पर्यंत चौरस प्रतिकार मोजू शकते. फोर-प्रोब पद्धत प्रोब आणि नमुना यांच्यातील संपर्क प्रतिकारामुळे मोजमाप त्रुटी टाळू शकते.

मापन पद्धती:
1) नमुन्याच्या पृष्ठभागावर चार रेषीय पद्धतीने मांडलेले प्रोब सेट करा.
2) दोन बाह्य प्रोब्समध्ये स्थिर प्रवाह लागू करा.
3) दोन अंतर्गत प्रोबमधील संभाव्य फरक मोजून प्रतिकार निश्चित करा

आरएस: शीट प्रतिरोध
ΔV: अंतर्गत प्रोब दरम्यान मोजले जाणारे व्होल्टेजमधील बदल
I: बाह्य प्रोब्स दरम्यान वर्तमान लागू