SEMICERA isostatic PECVD ग्रेफाइट बोट हे PECVD (प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमा) प्रक्रियेत वेफर सपोर्टसाठी डिझाइन केलेले उच्च-शुद्धता, उच्च-घनतेचे ग्रेफाइट उत्पादन आहे. ग्रेफाइट बोटमध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोधकता, मितीय स्थिरता आणि चांगली थर्मल चालकता आहे याची खात्री करण्यासाठी SEMICERA प्रगत आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग तंत्रज्ञान वापरते, जे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत एक अपरिहार्य उपभोग्य आहे.
SEMICERA isostatic PECVD ग्रेफाइट बोटचे खालील फायदे आहेत:
▪ उच्च शुद्धता: वेफर पृष्ठभाग दूषित होऊ नये म्हणून ग्रेफाइट सामग्री उच्च शुद्धता आणि कमी अशुद्धतेची असते.
▪ उच्च घनता: उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च व्हॅक्यूम वातावरणाचा सामना करू शकते.
▪ चांगली मितीय स्थिरता: प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमानात लहान आयामी बदल.
▪ उत्कृष्ट थर्मल चालकता: वेफर ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे स्थानांतरित करा.
▪ मजबूत गंज प्रतिकार: विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा द्वारे धूप प्रतिकार करण्यास सक्षम.
कार्यप्रदर्शन मापदंड | अर्धशिशी | SGL R6510 | कार्यप्रदर्शन मापदंड |
मोठ्या प्रमाणात घनता (g/cm3) | १.९१ | १.८३ | १.८५ |
झुकण्याची ताकद (MPa) | 63 | 60 | 49 |
संकुचित शक्ती (एमपीए) | 135 | 130 | 103 |
किनाऱ्यावरील कडकपणा (HS) | 70 | 64 | 60 |
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10-6/K) | ५.८५ | ४.२ | ५.० |
प्रतिरोधकता (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
आम्हाला निवडण्याचे फायदे:
▪ सामग्रीची निवड: उत्पादनाची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्री वापरली जाते.
▪ प्रक्रिया तंत्रज्ञान: उत्पादनाची घनता आणि एकसमानता सुनिश्चित करण्यासाठी आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगचा वापर केला जातो.
▪ साईझ कस्टमायझेशन: ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकाराच्या आणि आकारांच्या ग्रेफाइट बोटी सानुकूलित केल्या जाऊ शकतात.
▪ पृष्ठभाग उपचार: विविध प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी पृष्ठभाग उपचार पद्धती प्रदान केल्या जातात, जसे की कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड, बोरॉन नायट्राइड इ.