सॉलिड CVD सिलिकॉन कार्बाइड भागांना RTP/EPI रिंग्ज आणि बेस आणि प्लाझम एच पोकळी भागांसाठी प्राथमिक निवड म्हणून ओळखले जाते जे उच्च सिस्टम आवश्यक ऑपरेटिंग तापमान (>1500℃) वर काम करतात, शुद्धतेची आवश्यकता विशेषतः जास्त आहे (>99.9995%) आणि जेव्हा रसायनांचा प्रतिकार विशेषतः उच्च असतो तेव्हा कामगिरी विशेषतः चांगली असते. या सामग्रीमध्ये धान्याच्या काठावर दुय्यम टप्पे नसतात, म्हणून त्यांचे घटक इतर पदार्थांपेक्षा कमी कण तयार करतात. या व्यतिरिक्त, हे घटक गरम HF/HCl वापरून थोडेसे निकृष्टतेसह साफ केले जाऊ शकतात, परिणामी कमी कण आणि दीर्घ सेवा आयुष्य.
