SiC वेफर बोट
सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटहे वेफर्ससाठी लोड-बेअरिंग डिव्हाइस आहे, जे प्रामुख्याने सौर आणि अर्धसंवाहक प्रसार प्रक्रियेत वापरले जाते. यात पोशाख प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, उच्च-तापमान प्रभाव प्रतिरोध, प्लाझ्मा बॉम्बर्डमेंटचा प्रतिकार, उच्च तापमान सहन करण्याची क्षमता, उच्च थर्मल चालकता, उच्च उष्णता अपव्यय आणि वाकणे आणि विकृत करणे सोपे नसलेले दीर्घकालीन वापर यासारखी वैशिष्ट्ये आहेत. आमची कंपनी सेवा जीवन सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री वापरते आणि सानुकूलित डिझाइन प्रदान करते, यासह. विविध अनुलंब आणि क्षैतिजवेफर बोट.
SiC पॅडल
दसिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टिलिव्हर पॅडलहे प्रामुख्याने सिलिकॉन वेफर्सच्या (प्रसरण) कोटिंगमध्ये वापरले जाते, जे उच्च तापमानात सिलिकॉन वेफर्सच्या लोडिंग आणि वाहतुकीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. चा एक प्रमुख घटक आहेअर्धसंवाहक वेफरलोडिंग सिस्टम आणि खालील मुख्य वैशिष्ट्ये आहेत:
1. उच्च तापमानाच्या वातावरणात ते विकृत होत नाही आणि वेफर्सवर उच्च लोडिंग शक्ती असते;
2. हे अत्यंत थंड आणि जलद उष्णतेसाठी प्रतिरोधक आहे, आणि दीर्घ सेवा आयुष्य आहे;
3. थर्मल विस्तार गुणांक लहान आहे, देखभाल आणि साफसफाईचे चक्र मोठ्या प्रमाणात वाढवते आणि प्रदूषक लक्षणीयरीत्या कमी करते.
SiC फर्नेस ट्यूब
सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब, धातूच्या अशुद्धतेशिवाय उच्च-शुद्धता SiC ने बनवलेले, वेफरला प्रदूषित करत नाही आणि सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक प्रसार, ॲनिलिंग आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रियेसाठी योग्य आहे.
SiC रोबोट आर्म
SiC रोबोट हात, ज्याला वेफर ट्रान्सफर एंड इफेक्टर असेही म्हणतात, सेमीकंडक्टर वेफर्सची वाहतूक करण्यासाठी वापरली जाणारी रोबोटिक आर्म आहे आणि सेमीकंडक्टर, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक आणि सौर ऊर्जा उद्योगांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड वापरणे, उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध, भूकंप प्रतिरोध, विकृतीशिवाय दीर्घकालीन वापर, दीर्घ सेवा आयुष्य इत्यादी, सानुकूलित सेवा प्रदान करू शकतात.
क्रिस्टल वाढीसाठी ग्रेफाइट
ग्रेफाइट उष्णता ढाल
ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड ट्यूब
ग्रेफाइट डिफ्लेक्टर
ग्रेफाइट चक
वाढत्या सेमीकंडक्टर क्रव्हस्टल्ससाठी वापरल्या जाणाऱ्या सर्व प्रक्रिया उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात कार्य करतात. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसचा हॉट झोन सहसा उष्णता-प्रतिरोधक आणि गंज-प्रतिरोधक उच्च शुद्धतेसह तयार केला जातो. ग्रेफाइट घटक, जसे की ग्रेफाइट हीटर्स, क्रूसिबल, सिलेंडर, डिफ्लेक्टर, चक, ट्यूब, रिंग, होल्डर, नट्स, इत्यादी आमचे तयार उत्पादन 5ppm पेक्षा कमी राख सामग्री प्राप्त करू शकते.
सेमीडोंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी ग्रेफाइट
ग्रेफाइट बेस
ग्रेफाइट एपिटॅक्सियल बॅरल
मोनोक्री स्टॅलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल बेस
MOCVD ग्रेफाइट भाग
सेमीकंडक्टर ग्रेफाइट फिक्स्चर
एपिटॅक्सियल प्रक्रिया म्हणजे एकाच क्रिस्टल सब्सट्रेटवर एकाच क्रिस्टल सामग्रीच्या वाढीचा संदर्भ आहे ज्यामध्ये सब्सट्रेट सारख्याच जाळीच्या व्यवस्थेसह. यासाठी अनेक अति-उच्च शुद्धतेचे ग्रेफाइट भाग आणि SIC कोटिंगसह ग्रेफाइट बेस आवश्यक आहे. सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी वापरल्या जाणाऱ्या उच्च शुद्धतेच्या ग्रेफाइटमध्ये अनुप्रयोगांची विस्तृत श्रेणी आहे, जी उद्योगात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या उपकरणांशी जुळू शकते, त्याच वेळी, ते अत्यंत उच्च आहे. शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन आणि अत्यंत उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता.
इन्सुलेशन साहित्य आणि इतर
सेमीकंडक्टर उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या थर्मल इन्सुलेशन मटेरियल म्हणजे ग्रेफाइट हार्ड फील, सॉफ्ट फील, ग्रेफाइट फॉइल, कार्बन कंपोझिट मटेरियल इ. आमचा कच्चा माल आयात केलेला ग्रेफाइट मटेरियल आहे, जो ग्राहकांच्या विनिर्देशानुसार कापला जाऊ शकतो आणि ते विकले जाऊ शकते. संपूर्ण कार्बन संमिश्र सामग्री सामान्यतः सौर मोनोक्रिस्टल आणि पॉलिसिलिकॉन सेल उत्पादन प्रक्रियेसाठी वाहक म्हणून वापरली जाते.