सिलिकॉन कार्बाइड विविध सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये वेफर्सच्या हस्तांतरणासाठी सिरेमिक प्रभावक

वैशिष्ट्ये आणि फायदे

1. अचूक परिमाणे आणि थर्मल स्थिरता

2.उच्च विशिष्ट कडकपणा आणि उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता, दीर्घकालीन वापरामुळे विकृती वाकणे सोपे नाही;

3.त्याची पृष्ठभाग गुळगुळीत आहे आणि चांगली पोशाख प्रतिरोधक आहे, अशा प्रकारे कण दूषित न होता चिप सुरक्षितपणे हाताळते.

4. 106-108Ω मध्ये सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिरोधकता, नॉन-चुंबकीय, विरोधी ESD तपशील आवश्यकतांनुसार; हे चिपच्या पृष्ठभागावर स्थिर वीज जमा होण्यापासून रोखू शकते

5. चांगली थर्मल चालकता, कमी विस्तार गुणांक.